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InAs单晶衬底的表面形貌和化学成分分析

胡炜杰 , 赵有文 , 段满龙 , 王应利 , 王俊

人工晶体学报

利用原子力显微镜(AFM)、X射线光电子能谱(XPS)和俄歇电子能谱(AES)分别研究了InAs单晶抛光片的表面形貌和化学构成.结果表明:机械化学抛光工艺条件和清洗腐蚀过程对InAs单晶抛光片表面的化学组分构成和表面粗糙度有很大的影响.通常情况下,InAs单晶抛光片的表面氧化层中含有In2O3、As...

关键词: InAs单晶 , 衬底 , 表面