娄向东
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李培
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王晓兵
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秦楠
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王学峰
硅酸盐通报
以聚乙二醇600(PEG-600)为表面活性剂,用水热法一步制备了In_2O_3粉体,通过XRD、SEM、TEM等手段对粉体的物相、形貌、粒度等进行表征,结果表明产物的形貌为棒状,平均长度约150 nm,直径约20 nm,分布均匀.采用静态配气法测定材料的气敏性能,发现以In_2O_3为基体的气敏元件在125 ℃的工作温度下对10 ppm NO_2气体的灵敏度高达32.2,并且具有选择性好、响应-恢复时间短等特性.
关键词:
In_2O_3
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表面活性剂
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水热法
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气敏性质
原子健
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朱夏明
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王雄
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张莹莹
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万正芬
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邱东江
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吴惠桢
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杜滨阳
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00141
采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备氧化铟薄膜,通过测试原子力显微镜、X射线衍射、X射线光电子谱、紫外可见分光光度计以及霍尔效应,研究了氧化铟薄膜的结构和光、电特性.实验发现,氧化铟薄膜表面粗糙度随着生长温度的升高而增大.X射线衍射结果表明薄膜为立方结构的多晶体,并且随着生长温度的升高,可以看到氧化铟薄膜的晶粒变大以及半高宽减小,这也说明结晶质量的改善.在可见光范围的透射率超过90%.同时,在氩气氛围下制备的薄膜迁移率最大,其电阻率、霍尔迁移率和电子浓度分别达到了0.31Ω·cm、9.69cm~3/(V·s)和1×10~(18)cm~(-3).退火处理可以改善氩氧氛围下制备的薄膜的电学性能.
关键词:
氧化铟
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射频磁控溅射
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表面形貌
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X射线衍射
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电学特性
