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Cu薄膜生长过程的Monte Carlo模拟

王炫力 , 陈冷

人工晶体学报

用动力学晶格蒙特卡洛模型(Kinetic Lattice Monte Carlo,KLMC)模拟Cu薄膜的生长过程,讨论了基底温度、沉积原子数、单原子最大迁移步数和原子相互作用范围等参数对薄膜表面形貌的影响,并与实验结果进行了比较.结果表明:基底温度升高或沉积原子数增加时,沉积在基底上的原子逐步由众...

关键词: KLMC模型 , 薄膜生长过程 , 表面形貌 , Cu薄膜