邱红松
,
游利兵
,
王庆胜
,
尹广玥
,
方晓东
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2016.03.006
分别研究了Ne、F2和Kr对KrF准分子激光器脉冲能量输出的影响.理论分析了Ne作为缓冲气体在激光器放电过程中的碰撞过程,并对Ne与其他种类缓冲气体进行了对比分析.F2分压对脉冲能量输出的影响非常明显.工作气体中Kr参与的三体碰撞过程占主导地位,激光脉冲能量输出与Kr分压呈二次函数关系.当充电电压为28.7 kV,在最优化工作气体分压(F2∶He∶Kr∶Ne=0.315∶5.985∶19.5∶305 kpa)下获得的最大单脉冲输出能量为807 mJ,全电效率为1.64％.
关键词:
激光技术
,
KrF准分子激光器
,
气体分压优化
,
气体混合物
,
缓冲气体
