张玉梅
,
刘梅
,
华杰
,
王丽
,
李海波
兵器材料科学与工程
采用磁控溅射方法在表面氧化的Si(100)基片上制备了厚为70 nm的FePt薄膜,在不同温度下于磁场中进行热处理,利用X线衍射仪、振动样品磁强计和原子力显微镜对样品进行分析,研究磁场热处理对FePt薄膜结构和磁性的影响.结果表明:磁场热处理有助于FePt薄膜的无序-有序相转变,在0.4 MA/m磁场中,经过500℃热处理的FePt薄膜的有序化程度提高,平行和垂直膜面的矫顽力增大;磁场热处理能够抑制磁性颗粒的团聚,使薄膜中的磁性颗粒分布均匀,薄膜表面的粗糙度降低.
关键词:
L10 FePt薄膜
,
磁场热处理
,
结构
,
磁性
