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刘英才 , 尹衍升 , 李静 , 李嘉 , 初蕾
人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.04.037
利用LICVD方法制备了纳米硅颗粒.研究了不同反应气体流量条件下,纳米硅微结构的转变规律,分析了制备工艺参数对纳米硅微结构的影响机制.研究表明,在激光功率密度恒定条件下,随着反应气体流量的增加,所制备纳米硅颗粒的尺寸逐渐变小,微结构中非晶态比例随反应气流的增加而增加.
关键词: 纳米硅 , 激光诱导化学气相沉积法 , 晶体生长 , 微结构
