材料期刊网

电极对PZT铁电薄膜的微观结构和电性能的影响

杜文娟 , 陆维 , 郑萍 , 孟中岩

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.03.003

采用溶胶-凝胶(sol-gel)工艺分别在Pt/Ti/SiO2/Si和LNO/Si电极上制备Pb(Zr0.53Ti0.47)O3(PZT)铁电薄膜.研究了不同电极材料对PZT铁电薄膜的微结构及电性能的影响.(100)择优取向的PZT/LNO薄膜的介电性能和铁电性能较(111)/(100)取向的PZT...

关键词: PZT薄膜 , LNO电极 , 电性能 , 疲劳 , Pt电极