郝兰众
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李燕
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邓宏
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刘云杰
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姬洪
材料导报
通过研究发现,利用激光分子束外延技术生长的LaAlO3/BaTiO3超晶格薄膜具有良好的电学性能,其剩余极化可达到25μc/cm2.性能决定于结构,因此本文分析研究了LaAlO3/BaTiO3超晶格薄膜的界面结构.首先通过高能电子衍射技术在薄膜生长过程中对各层的生长及界面状况进行观测,再通过小角X射...
关键词:
超晶格薄膜
,
LaAlO3/BaTiO3
,
高能电子衍射
,
小角X射线衍射
,
激光分子束外延技术
郝兰众
,
李燕
,
邓宏
,
刘云杰
,
姬洪
,
张鹰
功能材料
采用激光脉冲分子束外延技术,在(100)取向的SrTiO3单晶基片上成功外延生长了LaAlO3/BaTiO3超晶格薄膜.在超晶格薄膜生长过程中,采用高能电子衍射技术(RHEED)对LaAlO3/BaTiO3超晶格薄膜的生长过程以及平面晶格变化进行了分析.通过对超晶格薄膜中各层RHEED衍射条纹的分析...
关键词:
LaAlO3/BaTiO3
,
超晶格薄膜
,
RHEED
,
临界厚度
