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薄膜厚度对PZT/STO铁电电容器隧穿电阻的影响

王英龙 , 刘林 , 张鹏程 , 梁伟华 , 丁学成 , 褚立志 , 邓泽超

功能材料

结合Landau-Devonshire自由能理论和晶格模型,研究了PbZr1xTixO3 (PZT)/SrTiO3 (STO)复合薄膜中PZT和STO厚度对铁电隧道结极化强度、电导和隧穿电阻等的影响.模拟结果表明,随着层数增加,极化强度增大;平均极化强度随着PZT厚度增加而增强,随着STO厚度增加而...

关键词: 铁电电容器 , 隧穿效应 , Landau模型 , PZT