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湿化学工艺LaxSr1-xTiO3薄膜的制备及性能表征

常亮亮 , 殷明志 , 杨亮亮

绝缘材料 doi:10.3969/j.issn.1009-9239.2010.05.007

采用湿化学工艺在硅衬底上成功地制备了结构致密、均匀且无龟裂的LaxSr1-xTiO2(LSTO)薄膜.金属硝酸盐(或氯化物)的冰醋酸溶液经回流再加入乙酸酐除去无机阴离子和结晶水,而形成的金属醋酸盐与适当的络合剂形成的多配体络合物经部分水解生成的羟基化合物M(OH)2(L)x(L=C3H5(OH)3或...

关键词: SrTiO3施主掺杂 , LaxSr1-xTiO3 薄膜 , 半导化