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退火处理对SnO2：F薄膜光电性能的影响

李铭 , 高倩 , 刘涌 , 宋晨路 , 韩高荣

材料科学与工程学报

SnO2∶F薄膜作为low-e玻璃的表面功能层材料,广泛应用于节能镀膜玻璃。Low-e玻璃在后期退火（深加工）后,其性能的变化已经引起了学术研究和实际应用方面的的关注。我们对于用化学气相沉积法在玻璃表面沉积的约250nm厚的SnO2∶F薄膜进行不同的退火处理。并通过一系列的研究,结果发现,薄膜的结构...

关键词: Low-e , SnO2∶F薄膜 , 退火 , 常压化学气相沉积