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混合物理化学气相沉积法制备Al2O3衬底MgB2薄膜性质的研究

丁莉莉 , 姚丹 , 陈莉萍 , 庄承钢 , 张开诚 , 陈晋平 , 熊光成 , 冯庆荣

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2005.z1.101

我们用混合物理化学气相沉积(Hybrid Physical-Chemical Vapor Deposition简称为HPCVD)法在Al2O3(00l)衬底上原位制备了MgB2超导薄膜样品.样品厚度约为1μm左右,最高的超导起始转变温度Tc(onset)=40.3K,转变宽度ΔT为0.3K.ρ50K...

关键词: MgB2薄膜 , X-光衍射图 , SEM图 , R~T曲线 , M~H曲线

c轴取向SiC衬底MgB_2超导厚膜的制备及性质

孟胜 , 张从尧 , 冯庆荣

低温物理学报

通过混合物理化学气相沉积法(Hybrid Physical-chemical Vapor Deposition,简称HPCVD),我们在SiC衬底上制备出了c取向8μm厚的MgB_2超导厚膜.电性质测量表明其起始超导转变温度是41.4K,转变宽度为0.5K,剩余电阻比率RRR~7.磁性质测量表明5K...

关键词: 混合物理化学气相沉积法 , MgB_2超导厚膜 , R~T曲线 , M~T曲线 , M~H曲线 , SEM图

混合物理化学气相沉积法制备蓝宝石衬底外延MgB2薄膜性质的研究

丁莉莉 , 陈莉萍 , 李芬 , 冯庆荣 , 熊光成

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2006.02.003

我们用混合物理化学气相沉积(Hybrid physical-chemical vapor deposition简称为HPCVD)法在α-Al 2O 3(00l)衬底上原位制备了一批超导性能良好的外延MgB 2超导薄膜样品.用10%浓度的乙硼烷(B 2H 6)氢气混合气作为原料,研究了不同条件对MgB...

关键词: MgB2薄膜 , X射线衍射图 , SEM图 , R~T曲线 , M~H曲线

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