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MOEMS三分量加速度地震检波器简谐振子设计

恩德 , 冯捷逾 , 张宁波

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2012.03.018

采用惯性力与简谐振子相垂直及差动检测技术的方法,设计基于光弹效应的三分量加速度地震检波器简谐振子,对于简谐振子中的双M-Z干涉仪而言,光功率的均分和光的单模传输是实现正确检测加速度的基础.介绍了M-Z干涉仪的结构和工作原理.用波导光学模拟软件OptiBPMv9.0对双M-Z干涉仪光场传输进行仿真,得...

关键词: 纤维与波导光学 , 简谐振子 , M-Z干涉仪 , 光弹效应 , 三分量

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