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Numerical simulation of effects of cusp magnetic field on oxygen concentration of 300 mm CZ-Si

WANG Yongtao , XU Wenting , DAI Xiaolin , XIAO Qinghua , DENG Shujun , YAN Zhirui , ZHOU Qigang

稀有金属（英文版） doi:10.1007/s12598-012-0546-z

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