严春雷
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刘荣军
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曹英斌
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张长瑞
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张德坷
材料导报
高温、强振、强腐蚀、高湿等恶劣环境中的监测和控制系统对MEMS (Microelectromechanical systems)提出了新的挑战.SiC具有化学惰性,高热导率及优良的力学、电学、高温性能,在MEMS技术中备受青睐,成为SiMEMS体系极具竞争力的替代材料.综述了关于立方相碳化硅(3C-...
关键词:
立方相碳化硅薄膜
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化学气相沉积
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力学性能
,
电学性能
,
MEMS器件
汪红
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丁桂甫
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戴旭涵
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苏宇锋
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张永华
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王志民
功能材料
研究了采用多种氯化物体系电沉积制备CoNiMnP永磁体薄膜及在微继电器、电磁驱动器永磁体阵列器件方面的应用.对薄膜组成、磁性能的对比研究表明:从稀氯化物体系(200mT)中获得的Co82.4Ni11.9Mn0.4P5.3永磁体薄膜具有最好的磁性能:Hc=208790A/m,Br=0.2T,(BH)m...
关键词:
MEMS器件
,
CoNiMnP永磁体薄膜
,
磁性能
,
掩膜电沉积