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MEVVA源离子注入陶瓷刀具表面改性研究

彭志坚 , 苗赫濯 , 王成彪 , 傅志强 , 李文治

稀有金属材料与工程

首次采用金属弧(MEVVA)源对氧化铝、氮化硅等陶瓷刀具进行了注入金属钛、锆和铬离子改性研究,确定了注入剂量与陶瓷刀具性能之间的关系.改性后陶瓷材料表观纳米硬度、杨氏模量和抗弯强度分别增加51%、41%和66$;最大残余应力为0.63 GPa.陶瓷刀具在最佳剂量下进行改性后,表面光洁平整,平均表面粗糙度低于50nm.刀具寿命比改性前提高2~12倍,其中Al2O3陶瓷刀具注入金属铬改性效果最佳.

关键词: 陶瓷 , 刀具 , MEWA , 表面改性

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