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TiN/VCN多层膜的力学性能及摩擦磨损性能研究

曹峻 , 许俊华 , 喻利花

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2013.12196

采用多靶磁控溅射技术,制备了TiN、VCN单层膜及调制比为1∶1的系列调制周期的TiN/VCN多层膜.利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、高温摩擦磨损测试仪和扫描电子显微镜研究了各种薄膜的微结构、力学性能及室温和高温摩擦磨损性能.研究表明:TiN/VCN多层膜以δ-NaCl面心立方结构为主；TiN/VCN...

关键词: TiN/VCN , 磁控溅射 , 力学性能 , 摩擦磨损性能 , Magnéli相