材料期刊网

厚度对Mg-Sn共掺ZnO薄膜结构和光电性能的影响

刘细妹 , 胡跃辉 , 陈义川 , 胡克艳 , 徐斌 , 张志明

人工晶体学报

采用溶胶凝胶(Sol-Gel)旋涂法在抛光石英衬底上制备不同厚度Mg-Sn共掺的ZnO薄膜.用XRD、SEM、UV-Vis、PL、FT-IR光谱仪和四探针等对薄膜的微观结构、表面形貌、室温光致发光及光电特性进行表征.薄膜结构分析显示样品均沿c轴高度择优取向,呈六角纤锌矿晶体结构,随着膜厚的增加,薄膜...

关键词: 溶胶凝胶法 , Mg-Sn共掺ZnO , 厚度 , 电阻率 , 透过率