欢迎登录材料期刊网
林智远 , 李东耀 , 张宇昊 , 冯庆荣
低温物理学报
我们利用混合物理化学气相沉积法(Hybrid physical-chemical vapor deposition简称为HPCVD)在(0001)Al2O3衬底上制备了系列干净的MgB2超薄膜,并通过R-T测量、SEM测量、M-T测量、XRD测量对它们进行了表征,探究了其超导电磁性能和薄膜的生长机制...
关键词: MgB2超薄膜 , HPCVD法
陈雷 , 马世成 , 冯庆荣 , 董兴辉 , 朱凌志
利用混合物理化学气相沉积法(Hybrid physical-chemical vapor deposition简称为(HPCVD)在(0001) SiC衬底上制备了干净的MgB2超导超薄膜.在背景气体、压强、载气氢气流量以及B2H6的流量一定的情况下,改变沉积时间,制得一系列MgB2超薄膜样品.通过...
关键词: SiC衬底 , MgB2超薄膜 , 混合物理化学气相沉积
