孙秀菊
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李海玲
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励旭东
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任丙彦
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周春兰
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赵雷
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王文静
人工晶体学报
采用真空热蒸发技术,制备出了性能优良的MgF2/ZnS双层减反射薄膜.采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪对薄膜的形貌以及结晶形态进行分析,采用椭圆偏振仪测试薄膜的折射系数及厚度,利用反射谱对双层减反射薄膜的减反射性能进行了表征.研究表明:衬底温度为200 ℃时薄膜附着力、结晶态良好;蒸发速率影响薄膜的表面形态;MgF2/ZnS厚度为110 nm/35 nm时具有最佳减反射效果.
关键词:
ZnS薄膜
,
MgF2薄膜
,
减反射薄膜
,
真空热蒸发
于琳
,
韩新海
,
王冠中
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揭建胜
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廖源
,
余庆选
,
方容川
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2004.01.012
本文采用脉冲激光淀积方法(PLD)制备了MgF2光学薄膜,并对其表面形貌以及光学性质进行了测试分析,X射线光电子能谱分析显示MgF2样品具有很好的化学组分配比,F/Mg原子比在1.9～2.1之间,接近于体材料;在可见光波段其光学透过率为60%～80%,在红外波段更是达到了90%以上,由KK变换计算MgF2的折射率大约为1.39,也接近于体材料的折射率1.38.
关键词:
薄膜光学
,
脉冲激光淀积
,
MgF2薄膜
,
透过率
