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沉积气压对电弧离子镀制备MgO薄膜的结构及性能的影响

朱道云 , 郑昌喜 , 王明东 , 陈弟虎 , 何振辉

功能材料

采用阴极真空电弧离子沉积技术在玻璃及Si衬底上成功地制备了具有择优结晶取向的透明MgO薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)及紫外-可见吸收光谱仪分别对MgO薄膜微观结构、表面形貌及可见光透过率进行了测试与分析。XRD结果表明,所制备的MgO薄膜具有NaCl型立方结构的(100)、(110)和(111)3种结晶取向,在沉积气压为0.7~3.0Pa的范围内,薄膜的择优结晶取向随沉积气压的升高先由(100)转变为(110),最后变为(111)。SEM图表明随着沉积气压的升高,MgO薄膜的晶粒逐渐变小,薄膜结晶质量变差。在380~900nm范围内,沉积气压为0.7Pa下制备的MgO薄膜其可见光透过率高于90%,随着沉积气压的升高,薄膜的可见光透过率有所下降。

关键词: 阴极真空电弧离子沉积 , 沉积气压 , MgO薄膜 , 等离子体显示板

退火处理对 MgO 薄膜性能的影响?

张骏 , 刘胜利 , 王海云 , 程杰

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2016.04.015

采用磁控溅射法在石英衬底上制备了 MgO 薄膜并分别在不同温度下进行退火处理。利用 X 射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)研究了 MgO 薄膜的结构和表面形貌随退火温度的变化,发现退火可以改善薄膜的结晶质量,即随着退火温度的升高,晶粒尺寸逐渐增大,结晶性能更佳,表面更加平整。此外,通过紫外-可见光分光光度计研究了 MgO 薄膜光学特性的变化,发现随着薄膜退火温度的升高,可见光透射率下降,光学带隙值逐渐减小。

关键词: MgO薄膜 , 退火处理 , 光学特性 , 磁控溅射

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