陈齐松
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王华
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许积文
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韦长成
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张玉佩
兵器材料科学与工程
以水合乙酸锌、水合乙酸锰为前驱体，利用溶胶-凝胶旋涂法在p+-Si衬底上制备Mn掺杂的ZnO阻变薄膜（MZO）。研究工艺中预热处理温度对薄膜的微观结构、阻变特性的影响，分析了薄膜高阻态和低阻态的导电机理。结果表明：经250、300℃预热处理的MZO薄膜孔洞较多，而经350℃预热处理的MZO薄膜致密，无孔洞且呈c轴择优取向生长；经不同温度预热处理所制备的Ag/MZO/p+-Si器件均呈双极性的阻变特性，但经350℃预热处理的器件样品具有更显著的阻变行为和更高的高、低电阻比RHRS/RLRS（104~106）；器件在高阻态的低压区为欧姆导电，高阻态高压区为肖特基发射电流传导，在低阻态为空间电荷限制电流（SCLC）传导。
关键词:
Mn掺杂ZnO
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溶胶凝胶
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阻变特性
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预热处理
