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非晶碳/Mo2C混合膜的场发射特性

王朝勇 , 姚宁 , 张兵临 , 鲁占灵 , 方莉俐 , 邓记才 , 张新月 , 赵永梅 , 袁泽明

功能材料

以镀有Mo过渡层的A12O3衬底,在微波等离子体增强化学气相沉积(MPCVD)系统中,制备了非晶碳/Mo2C混合结构薄膜,反应气体为CH4和H2.在高真空室中测量了样品场发射特性.开启场强为0.55V/μm,在1.8V/μm电场下样品的发射电流密度为6.8mA/cm2.发射点点密度＞103/cm2....

关键词: 场发射 , 微波等离子体化学气相沉积 , 非晶碳 , Mo2C