李永良
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稀有金属材料与工程
为了克服MoS2薄膜在大气环境下极易氧化失效且耐磨性能差的缺点,采用非平衡直流磁控溅射技术制备了MoS2/Ti复合膜,研究了Ti靶电流对复合膜结构和性能的影响.电子探针(EPMA)测定表明,膜中Ti的含量随着Ti靶电流的增加而增加.场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)对膜的表面和截面形貌观察发现,膜的表面由尺寸为几十～几百纳米的颗粒组成,而膜的截面呈柱状晶结构.膜的致密性和Ti靶电流有关,电流越高,膜的致密性越好,从而膜的硬度也越高.
关键词:
MoS2/Ti复合膜
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直流磁控溅射
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Ti靶电流
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性能
