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MoS_2-LaF_3共溅膜潮湿贮存后的摩擦学性能

王均安 , 于德洋 , 欧阳锦林

材料研究学报

本文考察了MoS_2-LaF_3共溅膜在潮湿空气中贮存后结构及摩擦学性能的变化。结果表明,少量稀土化合物使共溅膜组织更加致密,防止了底材腐蚀,稳定了薄膜结构,MoS_2-LaF_3共溅膜经潮湿贮存后仍具有长的耐磨寿命和稳定的摩擦系数。

关键词: MoS_2-LaF_3 , humidity , structure , texture , tribological property