李东海
,
胡明
,
孙凤云
,
陈鹏
,
孙鹏
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2009.04.017
以P+型硅片为基底,利用双槽电化学腐蚀方法制备不同孔隙率的多孔硅(Porous Silicon),介绍多孔硅气体传感器的原理和优点,通过SEM和AFM对PS薄膜的表面形貌进行分析,研究不同孔隙率条件下PS薄膜的气敏灵敏特性.结果表明:随着孔隙率的增加,PS薄膜的响应/恢复时间不断减小,薄膜对空气中较低浓度的NO2(体积分数为0.1×10-6～6×10-6)具有优异的敏感特性和响应特性.
关键词:
NO2气体传感器
,
多孔硅
,
灵敏度
,
孔隙率
