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溶胶-凝胶法制备Na/Mg共掺ZnO薄膜的特性研究

张彩珍 , 陈永刚 , 刘肃 , 王永顺

材料导报

利用溶胶-凝胶旋涂法制备了Na/Mg共掺ZnO薄膜.通过与未掺杂及只掺Mg的ZnO薄膜的对比分析,重点研究了Na/Mg共掺ZnO薄膜的结构、光学及电学特性.扫描电子显微镜(SEM)图像、X射线衍射(XRD)图谱、透射光谱及PL谱的分析结果表明,Na/Mg共掺有利于提高ZnO薄膜的结晶特性及c轴择优取...

关键词: ZnO , Na/Mg共掺 , 溶胶-凝胶 , 薄膜