姚丹
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谭腾
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冯思敏
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黄煦
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孙玄
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冯庆荣
低温物理学报
用混合物理化学气相沉积法(hybrid physics-chemical vapor deposition简称为HPCVD)在Nb衬底上生原位制备了平均厚度是1.5μm的MgB2多晶膜样品,其起始超导转变温度Tc(onset)=39.37K,转变宽度△Tc=0.45K.样品由大量六边型片状晶粒组成.对样品进行了韧性测试,可以发现膜在弯曲120°后,虽然弯曲面处出现了裂纹,但膜仍很牢固的附着在衬底上,其超导电性仍可保持.
关键词:
混合物理化学气相沉积法
,
Nb衬底
,
MgB2膜
,
韧性
