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  • 论文(3)

采用第一性原理方法研究Nb-Si-N表面单原子绕岛吸附与迁移

任元 , 刘学杰 , 李智

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.01.028

针对Nb-Si-N纳米复合薄膜在沉积过程中Nb、Si、N单原子与NbN晶粒相遇之后聚集与分离情况进行了研究.采用基于密度泛函理论(DFT)第一性原理超软赝势平面波计算方法分别计算了Nb、Si、N各单原子在NbN(001)表面绕2N2Nb岛的吸附作用和迁移过程.计算结果表明,Nb、Si、N单原子在2N...

关键词: Nb-Si-N , 绕岛迁移 , 第一性原理计算

Nb-Si-N纳米复合薄膜表面吸附与迁移的第一性原理研究?

任元 , 张超 , 刘学杰 , 谭心 , 魏怀

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2015.05.018

针对 Nb-Si-N 纳米复合薄膜在沉积过程中各原子的成核过程和生长取向,采用基于密度泛函理论(DFT)第一性原理超软赝势平面波计算方法分别计算了Nb、Si、N各单原子在NbN(001)表面6个对称位的吸附作用和迁移过程.吸附作用的计算获得各原子的势能面,其中Nb 在NbN(001)表面最低能量位置...

关键词: Nb-Si-N , 表面吸附 , 表面迁移 , 密度泛函计算

磁控溅射氮分压对Nb-Si-N薄膜结构和性能的影响

王剑锋 , 宋忠孝 , 徐可为 , 范多旺

稀有金属材料与工程

用反应磁控溅射法在不同的氮分压下沉积了Nb-Si-N薄膜.结果表明:Nb-Si-N膜的成分、结构和性能随氮分压的改变而不同.随氮分压的增加,Nb-Si-N膜的Nb/Si比和表面粗糙度减小;薄膜的电阻值和微硬度增加.Nb-Si-N膜的结构为纳米晶NbN与类似Si3N4非晶相组成的纳米复合结构,且随着氮...

关键词: 磁控溅射 , Nb-Si-N , 氮分压 , 结构