许俊华
,
李戈扬
,
顾明元
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2000.03.033
用磁控反应溅射的方法在不锈钢基片上制备了NbN/TaN纳米多层薄膜,试验采用X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)及显微硬度仪对薄膜的微结构和硬度进行分析,结果表明:在NbN/TaN多层膜中,NbN层为面心晶体结构,TaN层为六方晶体结构;NbN/TaN纳米多层膜存在超硬效应,在调制周期2.317.0nm这一较宽的范围内保持超高硬度,硬度最大值HK达51.0GPa.
关键词:
NbN/TaN纳米多层膜
,
微结构
,
超硬效应
