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溅射方式对NbN薄膜结构及热稳定性的影响

张宏森 , 丁明惠 , 张丽丽 , 蒋保江

材料科学与工程学报

用射频磁控溅射和直流磁控溅射的方法分别在Si(100)衬底和Cu膜间制备了30nm 的NbN薄膜,Cu/NbN/Si样品在高纯氮气保护下退火至700℃.用四探针电阻测试仪(FPP)、AFM、SEM、XRD、AES研究了溅射方式对NbN薄膜扩散阻挡性能的影响响退火前XRD结果表明,直流溅射制备的NbN...

关键词: NbN薄膜 , 扩散阻挡层 , Cu互连 , 磁控溅射