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Ni/Zr-Co-Re堆栈层薄膜吸气剂的吸气性能及Ni作用机理研究

田士法 , 毛昌辉 , 张心强 , 朱君 , 崔航

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.21.035

采用磁控溅射的方法制备了带有 Ni 保护层和Zr-Co-Re(Re代表稀土元素)主体层的堆栈层薄膜吸气剂。通过X射线光电子能谱仪(XPS)分析了薄膜吸气剂内部 O 元素的含量分布，研究了薄膜吸气剂中Ni层的防氧化作用和机理。研究表明：(1)Ni/Zr-Co-Re堆栈层薄膜吸气剂在160℃保温3h 的条件下可以有效激活，并具有高于 Zr-Co-Ni 单层薄膜吸气剂的吸气性能；(2)Ni保护层降低了吸气剂的被氧化程度，促进了表面吸附的 H2分子的解离和扩散。

关键词: 吸气剂 , Ni保护层 , 薄膜 , 吸气性能