张红霞
,
王文先
,
崔泽琴
,
慕伟
兵器材料科学与工程
doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2008.02.008
在多元离子复合渗镀装置中,采用二元复合靶对Si3N4陶瓷表面进行Ni-Ti复合渗镀,实现了Si3N4陶瓷表面的合金化.采用EDS、SEM、XRD分析方法和声发射划痕试验对陶瓷表面的渗镀层进行分析,结果表明:渗镀层中含有镍、钛、铁等元素.各元素分布较为均匀,没有明显的成分聚集现象;渗镀层与Si3N4陶瓷基体界面成分过渡连续,没有微观和宏观缺陷.声发射划痕试验结果表明,渗镀层与陶瓷基体结合得较好,在100 N的最大载荷下,渗镀层没有出现剥离和崩落现象.
关键词:
多元离子
,
复合渗镀
,
Ni-Ti复合靶
,
Si3N4陶瓷
,
表面合金化
