李义兵
,
王小军
,
周继承
功能材料
研究了室温下采用直流磁控共溅射法在抛光玻璃和Si基底上沉积Ni3Al合金薄膜的制备工艺、微观结构和电阻特性.采用SEM、EDX、AFM、TEM等测试分析了不同基底、溅射功率、工作气压等因素对薄膜微观结构、成分比和电阻特性的影响.结果表明:采用大功率混合溅射可以得到多晶态Ni3Al纳米合金薄膜,且呈多...
关键词:
Ni3Al薄膜
,
磁控溅射
,
微结构
,
电阻特性
王明
,
邢永燕
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马拥军
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代波
功能材料
采用直流磁控共溅射法,在衬底温度为450℃的SiO2基体上制备了厚度为500nm的Ni3Al薄膜,X射线衍射（XRD）和透射电子显微镜（TEM）等测试表明,薄膜为（111）取向的L12型晶体结构金属间化合物。采用纳米压痕方法测试了薄膜的力学性能,其硬度为8.00GPa,弹性模量为200GPa。为克服...
关键词:
Ni3Al薄膜
,
磁控溅射
,
微观结构
,
高温氧化性能
,
力学性能
