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退火温度对NiTi/Si膜结晶特性及力学性能的影响

王玉雷 , 李子全 , 刘劲松

机械工程材料

采用射频磁控溅射法在NiTi膜表面沉积一层非晶硅膜而形成NiTi/Si膜,并对该膜进行了不同温度的退火处理;用XRD、SEM和纳米压痕仪研究了退火温度对NiTi/Si膜的结晶特性和力学性能的影响.结果表明:NiTi/Si膜在600℃下退火后其中的硅仍为非晶态;当退火温度在650℃后开始出现明显的结晶...

关键词: 退火 , NiTi/Si膜 , 结晶特性 , 力学性能