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N-polar GaN上的欧姆接触：材料制备、金属化方案与机理?

王现彬 , 赵正平

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2016.05.010

氮极性(N-polar)GaN与镓极性(Ga-polar)GaN 极性相反，且具有较高的表面化学活性，使其在光电子、微电子及传感器等领域逐渐受到关注。文章结合一些相关研究报道，综述了 N-polar GaN 上欧姆接触的研究进展。首先对 N-polar GaN材料的制备进行了分析，随后对 N-polar GaN的欧姆接触电极的金属化方案及欧姆接触机理等内容进行了综合讨论，以期为实际 N-polar GaN欧姆接触研究提供一些参考。

关键词: 氮极性 , 氮化镓 , 欧姆接触 , 氮化铝