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制备工艺对PAR电双稳薄膜电特性的影响

谢亨博 , 蒋益明 , 郭峰 , 万星拱 , 李劲

功能材料

采用真空蒸发的方法将有机电双稳材料PAR制成Al/PAR/Al夹层结构.详细研究了薄膜厚度、电极面积、退火处理和自然放置等因素对薄膜电性能的影响.结果表明,采用适当的工艺,能够获得性质均匀、电特性良好的电双稳薄膜(转变电压的分散性小于10%,延迟时间基本小于5μs,转变时间在20ns左右).Al/PAR/Al结构可以简单等效为电阻与电容的并联,而退火与自然放置将使薄膜结构趋于稳定.

关键词: PAR薄膜 , 电双稳 , 制备工艺