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张豪 , 温茂萍 , 谭凯元 , 杜自卫 , 田勇
材料导报
在真空气相沉积条件下制备厚度分别为0.32 μm、2.39 μm、7.98 μm和17.11 μm的聚氯代对二甲苯膜(PC膜),采用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)和纳米压痕仪对不同厚度PC膜的结晶度、表面形貌以及力学性能进行了表征与测试.结果表明,随着成膜厚度的增加,聚氯代对二甲苯薄...
关键词: PC膜 , 厚度 , 结晶度 , 压入模量 , 压入硬度
张豪 , 温茂萍 , 田勇 , 谭凯元
介绍了国内外聚氯代对二甲苯薄膜(PC膜)聚集态结构的研究动态,包括PC膜聚集态结构的表征,随沉积条件、温度变化的演变及其与宏观性能的关系.对PC膜聚集态结构的表征主要局限于晶胞结构、细观形貌.在沉积条件中,沉积压力和温度是影响PC膜聚集态结构的主要因素,同时PC膜在高温下会发生晶相转换以及结晶度的变...
关键词: 聚氯代对二甲苯 , PC膜 , 聚集态
