顾艳妮
,
宣艳
材料导报
分别利用直接法和间接法,制备了基于PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底的金属可调谐光栅.由于在金属举离过程中PDMS遇丙酮溶液溶胀,导致直接法在机械调谐过程中光栅严重断裂,而利用间接法可以克服此问题.利用PDMS高弹性的特点,通过控制PDMS的纵、横向拉伸程度,对光栅周期进行连续、任意调谐,可获得预定的目标周期.
关键词:
PDMS(聚二甲基硅氧烷)
,
可调谐光栅
,
溶胀
,
机械调谐
徐胜
材料科学与工程学报
介绍了一种制备周期可调谐金属光栅的新技术。首先采用紫外光刻技术将光栅结构制备至硅衬底,并在其上蒸镀一层薄的银以增强衍射效率,然后采取金属举离工艺,最后转移光栅结构至PDMS（聚二甲基硅氧烷）基底。利用PDMS高弹性的特点,通过控制PDMS的纵、横向机械拉伸程度,对金属光栅周期进行连续调谐,获得预定的目标周期。实验结果表明,金属光栅调谐范围超过其初始周期的30%。
关键词:
周期可调谐金属光栅
,
PDMS(聚二甲基硅氧烷)
,
机械拉伸
