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Si基微绝热结构PLZT厚膜红外探测器阵列

曾亦可 , 刘梅冬 , 黄焱球

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2004.03.014

介绍了一种制备非致冷红外探测器阵列的新方法,此方法避免了使用传统的微电子机械系统(MEMS)工艺来加工微桥.研究了如何在Si基片表面形成ZnO膜层网格状结构的方法.ZnO纳米粉末和PLZT厚膜采用改进的溶胶-凝胶法制备.表征了ZnO纳米粉末的表面形貌和PLZT厚膜的相组成,测量了 PLZT-8/53...

关键词: 无机非金属材料 , 非致冷红外探测器阵列 , 溶胶凝胶法 , PLZT厚膜 , 热释电性