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两步法快速退火对PMN-PT薄膜结构和性能的影响

郭红力 , 刘果 , 李雪冬 , 肖定全 , 朱建国

功能材料

采用射频磁控溅射法在LaNiO3（100）/SiO2/Si（100）衬底上制备了0.65Pb（Mg1/3Nb2/3）O3-0.35PbTiO3（PMN-PT）铁电薄膜,采用两步法快速退火法对制备的PMN-0.35PT薄膜进行了不同工艺的后处理。实验结果表明,在LaNiO3上溅射的PMN-PT薄膜呈现...

关键词: 射频磁控溅射 , PMN-PT薄膜 , 快速退火(RTA)