张涛
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马宏伟
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张淑仪
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李敏
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赵省贵
功能材料
利用磁控溅射方法,在MgO基底上沉积三元系铁电薄膜6%PMnN-94%PZT(6%Pb(Mn1/3,Nb2/3)O3-94%Pb(Zr0.45,Ti0.55)O3),采用淬火方法对薄膜进行后期热处理。分别运用面内和面外X射线衍射(XRD)技术分析薄膜长相及晶体结构,运用高分辨率扫描电镜(SEM)观察...
关键词:
PMnN-PZT
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单晶铁电薄膜
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磁控溅射
张程浩
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狄杰建
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谭培培
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李明勇
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赵全亮
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谭晓兰
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王大伟
人工晶体学报
采用磁控溅射法在LaNiO3/Si衬底上制备了6%Pb(Mn1/3Nb2/3)O3-94% Pb(Zr0.52 Ti0.48) O3 (PMnN-PZT)铁电薄膜,对其微结构和铁电特性进行了研究.结果表明,该铁电薄膜呈(001)高度择优取向,取向度高达98%.经过1010次铁电循环测试,铁电薄膜无疲...
关键词:
锰铌锆钛酸铅
,
镍酸镧
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铁电性能
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磁控溅射