材料期刊网

Ti掺杂对α-C:H膜组织结构和性能的影响

马国佳 , 张晓囡 , 武洪臣 , 张华芳 , 彭丽平

稀有金属材料与工程

采用磁控溅射沉积万法在钛锚合金基体上制备有Ti与无Ti的类金刚石(DLC)膜,全方位离子注入(PSlI)技术被用来在膜与基体之间形成过渡层,提高膜基界面的附着力.通过X射线光电子能谱、纳米压痕、摩擦磨损等表征手段比较2种薄膜的化学组成、微结构特征和力学性能.结果表明:掺Ti α-C:H膜是含有TiC...

关键词: α-C:H膜 , 类金刚石 , PSII , Ti掺杂