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Pb过量对以Ti-Al为阻挡层的硅基铁电电容器极化翻转性能的影响

刘卓佳 , 刘保亭 , 彭增伟 , 代秀红 , 闫会芳 , 付跃举 , 赵庆勋

人工晶体学报

以射频磁控溅射法生长的La0.5Sr0.5CoO3( LSCO)为电极,采用溶胶-凝胶法在以Ti-Al为导电阻挡层的Si基片上生长了用不同Pb过量前驱体溶液(溶胶)制备的LSCO/Pb( Zro4Ti0.6)O3(PZT)/LSCO电容器,以此构造了Pt/LSCO/PZT/LSCO/Ti-Al/Si...

关键词: Pb过量 , 铁电电容器 , PZT , 极化翻转 , 溶胶-凝胶