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PbSe单晶薄膜的分子束外延及其表面微结构

徐天宁 , 吴惠桢 , 斯剑霄 , 曹春芳 , 黄占超

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2006.06.013

用分子束外延技术在BaF2(111)衬底上生长了PbSe单晶薄膜,观测了表面形貌和微结构.结果表明,在高Se/PbSe束流比(≥0.4)条件下,PbSe按照二维层状模式生长,外延层中的应力通过位错滑移发生塑性形变而获得充分弛豫,获得的PbSe薄膜是具有单原子层平整度的表面台阶和螺旋结构;降低Se/PbSe束流比至0.2,首次在PbSe样品表面观察到规则的三角形纳米孔状结构;当Se/PbSe束流比为0时,PbSe薄膜表面出现三维岛状结构,应力只能得到部分弛豫.在BaF2(111)衬底上分子束外延生长PbSe单晶薄膜的最佳温度为450℃.

关键词: 无机非金属材料 , PbSe单晶薄膜 , 分子束外延 , 应变弛豫 , 螺旋结构

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