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TiO2薄膜结构及氧敏性研究

徐艳姬 , 徐明霞 , 谢少桥 , 李岩 , 徐廷献

稀有金属材料与工程

利用溶胶-凝胶技术制备了TiO2氧敏薄膜,通过氧化物掺杂和贵金属的表面修饰,在空气气氛下烧结氧敏薄膜.结果表明:600℃～800℃下处理的薄膜是以金红石为主晶相及少量锐钛矿的混合晶型,随着温度升高锐钛矿减少,900℃时锐钛矿相的峰基本消失;800℃下处理的薄膜灵敏度明显高于600℃和900℃下处理的...

关键词: TiO2 , 氧化物掺杂 , Pd修饰 , 微量氧化还原 , 氧敏性 , 阻温特性