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玻璃基Pt/Pb(Zr 0.4 Ti 0.6 )O3/ITO电容器的结构及物理性能研究

周阳 , 程春生 , 赵敬伟 , 郑红芳 , 赵庆勋 , 彭英才 , 刘保亭

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00242

采用溶胶凝胶方法在玻璃基ITO电极上制备了Pt/ Pb(Zr 0.4 Ti 0.6 )O3(PZT)/ITO电容器.采用X射线衍射仪、铁电测试仪、分光光度计对其微观结构、电学性能及光学性能进行...

关键词: Pt/PZT/ITO , sol-gel method , electric property

玻璃基Pt/Pb(Zr_(0.4)Ti_(0.6))O_3/ITO电容器的结构及物理性能研究

周阳 , 程春生 , 赵敬伟 , 郑红芳 , 赵庆勋 , 彭英才 , 刘保亭

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00242

采用溶胶-凝胶方法在玻璃基ITO电极上制备了Pt/Pb((Zr_(0.4)Ti_(0.6))O_3(PZT)/ITO电容器.采用X射线衍射仪、铁电测试仪、分光光度计对其微观结构、电学性能及光学性能进行了测量.结果表明PZT薄膜结晶良好,具有(101)高度择优取向.铁电电容器具有良好的保持特性和抗疲劳...

关键词: Pt/PZT/ITO , 溶胶-凝胶法 , 电学性能