王萍
,
李弢
,
谢波玮
,
古宏伟
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2007.01.026
研究了Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备Ba0.7Sr0.3TiO3(BST7/3)薄膜时,基片加热温度和溅射功率对薄膜显微形貌和成相的影响.实验结果表明:常温下低功率溅射的BST7/3薄膜,表面形貌非常平整,但为非晶态物质的堆积;400 ℃高功率150 W溅射4 h的BST薄膜,其最大表面起伏约...
关键词:
射频磁控溅射
,
Pt/Ti/SiO2/Si
,
BST薄膜
,
表面形貌
