陈力
,
胡昌义
,
蔡宏中
,
王云
贵金属
doi:10.3969/j.issn.1004-0676.2010.01.001
以乙酰丙酮铱和乙酰丙酮铂为前驱体,采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在钼基体上沉积了PtIr薄膜.研究了前驱体加热温度对PtIr薄膜结构、成分和沉积速率的影响.结果表明,MOCVD的PtIr薄膜为合金膜,Pt-Ir合金薄膜成分、沉积速率随前躯体加热温度变化而变化,并存在极值点.
关键词:
复合材料
,
金属有机物化学气相沉积
,
Pt-Ir合金膜
,
成分
,
沉积速率
