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热处理温度对Pt-WO3薄膜结构和氢敏性能的影响

范小花 , 唐一科 , 侯长军 , 范瑛

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2008.07.012

以钨粉和双氧水为主要原料,采用溶胶-凝胶法及旋转涂膜技术在K9玻璃上制备了WO3纳米薄膜,然后用磁控溅射法在该WO3薄膜表面溅射掺杂了Pt作催化剂.将此Pt-WO3薄膜分别在100~500℃的氮气环境中进行热处理,用XRD,AFM,分光光度计等观察了薄膜的结构和表面形貌,分析了薄膜的微观结构及热处理...

关键词: 氢敏性能 , 热处理温度 , Pt-WO3薄膜 , 结构

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